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從氣瓶柜角度具體分析半導體行業選擇電子特氣柜的原因

2021-9-29| 來源: 網絡整理| 查看: 192

在半導體制程行業中,芯片的生產要經過幾百道工序,會使用到大量的特種氣體。而特種氣體大多易燃易爆、劇毒、腐蝕性的氣體,為了安全輸送和使用這些危險性氣體,半導體廠中會安裝電子特氣系統,配置電子特氣柜GC、氣體分配箱VMB和特氣泄漏監測報警器等特種設備。

從氣瓶柜角度具體分析半導體行業選擇電子特氣柜的原因

電子特氣柜

因特種氣體的特殊性,承載特種氣體的氣瓶柜體須為防爆柜體,同時為保證半導體制程工藝中特種氣體的穩定供氣和安全,應具備多種功能,如柜內氣體泄漏偵測報警、PLC面板控制、全自動吹掃等,提高使用安全系數,有效的保護生產安全和人員的生命安全。其次,半導體行業配置電子特氣柜需要擁有SEMI S2認證。

SEMI S2的對象是針對半導體制程設備的,是關于環境、健康、安全方面的標準,也即為EHS標準,因為半導體行業涉及到很多特種氣體、化學品及電氣、游離及非游離的輻射,如果處理不好,下游用戶在使用的時候就很容易導致事故甚至災難,因此對設備廠商的設備產品如電子特氣柜,擁有SEMI S2認證就顯得極端重要。

從氣瓶柜角度具體分析半導體行業選擇電子特氣柜的原因

SENI S2認證書

由以上描述可知,在半導體制程工藝中,需要“安全”和“穩定”的使用特種氣體,普通的氣瓶柜無論是在材質上還是功能上都無法滿足要求,所以半導體行業應配置有SEMI S2認證的電子特氣柜。最后,感謝您的閱讀!



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